截至收盘，中证半导体材料设备主题指数上涨0.8%，中证芯片产业指数上涨0.4%，上证科创板芯片指数下跌0.4%，上证科创板芯片设计主题指数下跌0.9%。Wind数据显示，半导体设备ETF易方达（159558）近一月合计净流入额超23亿元。